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Research Progress on Corrosion-Resistant Coatings of Carbon-Based Materials for the Semiconductor Field(PDF)

MATERIALS CHINA[ISSN:1674-3962/CN:61-1473/TG]

Issue:
2025年07
Page:
636-647
Research Field:
Publishing date:

Info

Title:
Research Progress on Corrosion-Resistant Coatings of Carbon-Based Materials for the Semiconductor Field
Author(s):
Jianxin TU Kui HAO Caixia HUO Ziyuan GUO Jianhao WANG Aijun LI Ruicheng BAI Zhihao JI
1.School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200444, China 2.Shaoxing Institute of Technology, Shanghai University, Shaoxing 312000, China
Keywords:
semiconductor high-temperature corrosion corrosive atmosphere carbon materials corrosion-resistant coatings silicon carbide tantalum carbide
CLC:

PACS:
TB34;TB304
DOI:
10.7502/j.issn.1674-3962.202405010
DocumentCode:

Abstract:

References

Memo

Memo:
Last Update: 2025-07-29
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