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1
Effect of Substrate Bias on Structure and Properties of Zr-B-O-N Thin Films
孟瑜1，宋忠孝2，王小艷1，錢旦2，劉明霞1，李曉華3
2022年第07期 [584－588][
Abstract
](
2525
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[
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9561KB]
(
1693
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