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Research Progress on Corrosion-Resistant Coatings of Carbon-Based Materials for the Semiconductor Field
涂建新, 郝魁, 霍彩霞, 郭子源, 王劍浩,李愛(ài)軍, 白瑞成, 季志豪
2025年07 [636－647][
Abstract
](
510
)
[
pdf
28319KB]
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283
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